激光數(shù)控沖床中激光干涉儀的工作原理介紹：

激光數(shù)控沖床中的激光干涉儀是運用多普勒效應(yīng)（Doppler Effect）工作的。 任何形式的波傳播，都是由于波源、接收器、傳播介質(zhì)或中間反射器的運動，會使頻率發(fā)生變化的現(xiàn)象。這種因多普勒效應(yīng)所引起的頻率變化稱為多普勒偏移或頻移（Doppler Shift）, 其頻移大小與介質(zhì)、波源和觀察物的運動有關(guān)。激光頭射出的頻率為 f0, 經(jīng)過反射鏡反射回來到激光頭內(nèi)的探測器，當反射鏡不動時，其反射波頻率 fr=f0。當反射鏡以 v=dx/ dt的速度沿線性軸遠離或者靠近激光頭時，因為光程增加或減少了 2vt，反射波 fr的數(shù)值會減少或增加 2v /λ0，λ0為激光波長。

即：Δf=f0- fr=2v /λ0=（2 /λ0）dx/dt。 （1）

 而 f=ω/2π, 且ω=dφ/dt，故：1/2π?d(Δ?)/dt=(2/λ0)dx/dt， （2）

求得：

N +Δφ/2π=（2 /λ0）x， （3）

 其中，N 為上式左邊積分滿一周期，即 2π 的周期，Δφ/2π 是未滿一周期的余量。由式（3）可得：χ=（λ0/2）（Δφ/2π+N）。 （4）

根據(jù)式（4），激光數(shù)控沖床中的激光干涉儀采用了一個鑒相器，每當相位 φ 積滿一個 2π，鑒相器便輸出一個增位或減位脈沖，即式（4）中的N。另外，以 0 到 15V 的模擬電壓表示Δφ/2π 這一項。計算鑒相器的脈沖以及模數(shù)電壓的伏數(shù)，根據(jù)式（4）便可測知反射鏡的位移χ。

通常將反射鏡設(shè)定為移動光學部件，將干涉鏡設(shè)定為靜止部件。二者可以反過來，但是最大測量距離將減少一半。因此，在超過 40m 行程的長軸上測量時，必須線性干涉鏡靜止不動，而另一個反射鏡移動。而對行程小于 40m 的軸進行測量時，為了方便測量，可以線性干涉鏡移動，也可以反射鏡移動。